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剛剛!一臺(tái)荷蘭ASML光刻機(jī)順利進(jìn)入中芯國(guó)際深圳廠區(qū)

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據(jù)中芯國(guó)際官網(wǎng)介紹,其深圳廠區(qū)位于深圳市坪山區(qū),一期200mm(8英寸)芯片代工廠可提供從0.35μm到90nm的晶圓制程服務(wù)。“深圳廠的成功擴(kuò)產(chǎn)能夠支持更多200mm產(chǎn)能需求,并滿足日益增長(zhǎng)的客戶及市場(chǎng)的需求”。


另外,該公司總部位于上海張江高科技園區(qū),在本地建有一座200mm芯片廠及一座300mm芯片廠,分別提供0.35μm到90nm,45/40nm到28nm的制程技術(shù)服務(wù)。


此前《羊城晚報(bào)》報(bào)道,3月4日,中芯國(guó)際從荷蘭進(jìn)口的一臺(tái)大型光刻機(jī)順利通過(guò)出口加工區(qū)場(chǎng)站兩道閘口進(jìn)入廠區(qū)。報(bào)道指出,這臺(tái)機(jī)器主要用于企業(yè)復(fù)工復(fù)產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴(kuò)容。


報(bào)道援引中芯國(guó)際公司關(guān)務(wù)經(jīng)理羅榮慧話語(yǔ)稱,生產(chǎn)線擴(kuò)容后全年預(yù)計(jì)可為企業(yè)增加10%左右的營(yíng)收。


另外,根據(jù)中芯國(guó)際近期發(fā)布的公告,其已經(jīng)花費(fèi)17億美元分別向泛林團(tuán)體、應(yīng)用材料、以及東京電子購(gòu)買半導(dǎo)體設(shè)備。


其中,向泛林團(tuán)體發(fā)出的購(gòu)買單總金額約6億美元;應(yīng)用材料購(gòu)買單的總金額為5.43億美元,東京電子購(gòu)買單總金額應(yīng)用材料購(gòu)買單的總代價(jià)為5.43億美元。

2018年5月,中芯國(guó)際曾向荷蘭阿斯麥爾(ASML)訂購(gòu)了一臺(tái)最新型的EUV光刻機(jī),價(jià)值高達(dá)1.5億美元,原計(jì)劃在2019年初交付。


不過(guò),由于美國(guó)方面阻擾,這項(xiàng)交易至今仍未完成。


據(jù)了解,光刻機(jī)作為集成電路制造中最關(guān)鍵的設(shè)備,對(duì)芯片制作工藝有著決定性的影響。目前全世界最先進(jìn)工藝的光刻機(jī)壟斷集中在荷蘭ASML、日本佳能、尼康手里。

資料顯示,中芯國(guó)際總部位于上海,擁有全球化的制造和服務(wù)基地。在上海建有一座300mm晶圓廠和一座200mm晶圓廠,以及一座控股的300mm先進(jìn)制程晶圓廠在建設(shè)中;在北京建有一座300mm晶圓廠和一座控股的300mm先進(jìn)制程晶圓廠;在天津和深圳各建有一座200mm晶圓廠;在江陰有一座控股的300mm凸塊加工合資廠。

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